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机 - OFweek电子工程网
快科技6月9日动静,取深圳力策科技合做采用自从研发的实空气压式纳米压印方案,实现8英寸光芯片可规模化量产验证。 据报道。
完全绕开ASML深紫外光刻线!国产实空气压式晶圆级纳米压印光刻机成本降至DUV 1/10。
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